真空泵是利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備，廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

真空泵的工作原理

利用偏心轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)形成通過旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內(nèi)氣體吸入泵腔，在排氣過程中體積變小，壓強(qiáng)增大，最終通過油封將吸入的氣體排出泵外。

真空泵的應(yīng)用范圍

石油化工、能源以及冶金制造業(yè)行業(yè)中，使用真空泵可以抽取酸性氣體、抽取易燃的爆炸性氣體，還可以用于蒸發(fā)、精餾、過濾、真空干燥等領(lǐng)域。

食品加工業(yè)領(lǐng)域，真空泵用于升華、干燥、脫水等。

小型真空泵在日常生活的應(yīng)用如水族館、腳盆和咖啡機(jī)等。

真空泵也可以用于汽車制造業(yè)，使用負(fù)壓力形式，從而增加其推動力。

按工作原理分類

氣體輸送泵：氣體輸送型的真空泵又可分為變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱茫渲凶內(nèi)菡婵毡糜型鶑?fù)式、旋片式等多種，動量傳輸泵有分子真空泵、噴射真空泵、擴(kuò)散泵、擴(kuò)散噴射泵、離子輸運(yùn)泵等多種。

氣體捕集泵：包括吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低溫泵等。

按真空度分類

可分為粗真空度真空泵、高真空度真空泵和超高真空度真空泵三種，其中高真空度真空泵又有滑閥式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵三種。

按真空泵結(jié)構(gòu)分類

機(jī)械式：類似于壓縮機(jī)，屬于容積型的有往復(fù)式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，還有屬于動力式的渦輪分子泵，都屬于抽除式真空泵。

噴射式：有噴射泵與擴(kuò)散泵兩種，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。

吸著式：依靠物理或化學(xué)方法使氣體分子吸在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。

按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類

主抽氣泵：實(shí)現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。

預(yù)抽氣泵：當(dāng)主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開始抽吸時(shí)，需預(yù)抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進(jìn)入工作。

前級泵：當(dāng)主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時(shí)，需串接前級泵排送。

維持泵：當(dāng)主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續(xù)抽吸。