干式螺桿真空泵原理是利用一對螺桿，在螺桿真空泵泵腔內作同步反方向的高速運轉，兩個轉子和泵體以及側蓋一起構成了若干個室進而達成吸排氣作用的抽氣機械設備。這些氣室有規律地從真空泵的進氣口側往排氣口側“移動”，這樣氣體就被以低速旋流的方式傳送出去。真空泵的持續運轉不會改變氣體的流向，這樣可以在一定限度內將氣體可能夾帶的細小顆粒以及蒸汽抽送出去。
在干式螺桿真空泵工作時，兩螺桿相互直接沒有摩擦力的產生，泵腔內無需潤滑油，在運行過程中機器平穩，產生的聲音小。與等距螺桿真空泵相比，變螺距結構的真空泵極限真空度更高，有著良好的間隙設計和連續的壓縮方式，單泵就可達到0.0075torr的極限真空。能耗更低，變螺距螺桿真空泵的節能型設計理念，可降低30%的電能消耗，是油封式真空泵良好的替代產品。在半導體行業里面，油封式的真空泵可以由干式螺桿真空泵替代，大大提升工作環境的質量，進而提高所生產出產品的質量與性能。