羅茨真空泵（簡稱羅茨泵）是一種旋轉可變容量的真空泵。 它是從羅茨鼓風機發展而來的。 根據羅茨真空泵的不同工作范圍，將其分為帶直排氣的低真空羅茨泵，中真空羅茨泵（也稱為機械增壓泵）和高真空多級羅茨泵。

羅茨真空泵的最大優勢

具有在較低的入口壓力下具有較高的抽速，但不能單獨使用，并且必須串聯連接真空泵。 羅茨真空泵只能在泵送系統中的壓力由后備真空泵送到羅茨真空泵以允許入口壓力時才能開始工作。 在正常情況下，羅茨真空泵不允許在高壓差下工作，否則會造成過載，過熱和損壞。 因此，在使用羅茨真空泵時，有必要合理選擇前級真空泵并安裝必要的防護設備。

萊諾真空泵

羅茨泵的工作原理

在羅茨真空泵的泵腔中，有兩個相互垂直的“ 8”形轉子安裝在一對平行軸上，一對傳動比為1的齒輪帶反向同步旋轉 。 轉子，轉子和泵殼的內壁之間存在間隙，可以實現高速運行。 因為羅茨泵是串聯使用的。

羅茨泵的工作原理類似于羅茨鼓風機。 由于轉子的連續旋轉，泵送的氣體從進氣口被吸入轉子和泵殼之間的空間，然后通過出氣口排出。 由于吸氣后的VO空間被完全封閉，因此泵腔中的氣體不會被壓縮和膨脹。

但是，當轉子的頂部越過排氣口的邊緣，并且VO空間與排氣側連通時，由于排氣側的氣壓較高，一部分氣體會沖回空間VO， 突然增加了氣壓。 當轉子繼續旋轉時，氣體從泵中排出。

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